|
|
º» ÀåÄ¡´Â Clean Room ³»ºÎ·Î ¹°Ç° ¹ÝÀԽà °íûÁ¤µµ¸¦ À¯ÁöÇϱâ
À§ÇÑ ÀåÄ¡À̸ç, ¹Ý¼Û¶óÀο¡ Â¥ ³ÖÀ» ¼ö
ÀÖ´Â Pass Box ÀÌ´Ù.
|
|
µÎ°³ÀÇ ¹®Àº Inter LockÀÌ µÇ¾î µ¿½Ã¿¡ °³¹æµÇÁö
¾ÊÀ¸¹Ç·Î Air LockÀÌ ¿ÏÀüÇÏ´Ù. |
|
¸ÕÁö°¡ Àû°Ô ÀϾ°í, ·Ñ·¯ Äܺ£¾î°¡ ºÎÂøµÇ¾î ÀÖ´Ù. |
|
»ç¿ë¸ñÀû¿¡ ÀÇÇØ ¿¡¾î Ä¿Æ°Çü°ú ¿¡¾î »þ¿öÇüÀÇ ¼±ÅÃ
ÀÌ °¡´ÉÇÏ´Ù. |
|
|
|
|
Çü
½Ä |
W1 |
W2 |
W3 |
H1 |
H2 |
H3 |
D1 |
D2 |
L |
Áß
·® |
SA¡àB
- 757 |
700 |
1200 |
490 |
500 |
830 |
1930 |
700 |
1100 |
940 |
¾à341kg
¾à366kg |
SA¡àB
- 777 |
700 |
830 |
2130 |
SA¡àB
- 7510 |
500 |
830 |
1930 |
1000 |
1400 |
1240 |
¾à389kg
¾à418kg |
SA¡àB
- 7710 |
700 |
830 |
2130 |
SA¡àB
- 1057 |
1000 |
1500 |
790 |
500 |
830 |
1930 |
700 |
1100 |
940 |
¾à390kg
¾à389kg |
SA¡àB
- 1077 |
700 |
830 |
2130 |
SA¡àB
- 10510 |
500 |
830 |
1930 |
1000 |
1400 |
1240 |
¾à443kg
¾à446kg |
SA¡àB
- 1710 |
700 |
830 |
2130 |
|
|
|
Çü
½Ä |
¿¡¾î Ä¿Æ°Çü SACB |
Áý
Áø È¿ °ú |
0.3§ÀÔÁö 99.99%ÀÌ»ó |
ÇÊÅÍ ~ ºÎÁ÷Æ÷
ÇÊÅÍ |
Áý
Áø ¿ä ¼Ò |
¸ÞÀÎÇÊÅÍ ~ HEPA
ÇÊÅÍ |
û
Á¤ µµ |
U0000.S.Fed.Std
209E M3.5 (Class 1000) |
dz
¼Ó |
¾à 0.5m/sec |
±¸
Á¶ |
°ÆÇÁ¦¼ÒºÎµµÀå |
Àü
¿ø |
AC220V |
|
|
Çü
½Ä |
¿¡¾î »þ¿öÇü SASB |
Áý
Áø È¿ °ú |
0.3§ÀÔÁö 99.99%ÀÌ»ó |
ÇÊÅÍ ~ ºÎÁ÷Æ÷
ÇÊÅÍ |
Áý
Áø ¿ä ¼Ò |
¸ÞÀÎÇÊÅÍ ~ HEPA
ÇÊÅÍ |
û
Á¤ µµ |
U0000.S.Fed.Std
209E M3.5 (Class 1000) |
dz
¼Ó |
¾à 25m/sec |
±¸
Á¶ |
°ÆÇÁ¦¼ÒºÎµµÀå |
Àü
¿ø |
AC220V |
|
..... |
|
|